在超级电容器生产中，超纯水主要用作清洗用水及用来配制各种溶液、浆料。超级电容器生产工艺过程中的78%的工序需要使用超纯水清洗产品，超纯水水质的好坏与超级电容器的成品质量及生产成品率关系很大。水中的碱金属(K、Na等)会使绝缘膜耐压不良，重金属(Au、Ag、Cu等)会使PN结耐压降低，Ⅲ族元素(B、Al、Ga等)会使N型半导体特性恶化，Ⅴ族元素(P、As、Sb等)会使P型触摸屏特性恶化，水中细菌高温碳化后的磷(造纸黑液废水处理设备约占灰分的20-50%)会使超级电容器上的局部区域变为N型硅而导致器件性能变坏，水中的颗粒(包括细菌)如吸附在触摸屏表面，就会引起产品特性变差。

超级电容器生产用到超纯水设备采用成熟、可靠、先进、自动化程度高的二级RO+EDI+抛光混床除盐水处理工艺 ，系统造纸废水处理设备厂家稳定性高。大大节省人力成本和维护成本，运行可靠，经济合理。使设备与其它同类产品相比较，具有更高的性价比和设备可靠性。

超纯水设备的工艺大致分成以下几种：
1、采用离子交换方式，其流程如下：
原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器→精密过滤器→阳树脂过滤床→阴树脂过滤床→阴阳树脂混床→微孔过滤器→用水点
2、采用两级反渗透方式，其流程如下：
原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器→精密过滤器→一级反渗透 →PH调节→中间水箱→第二级反渗透（反渗透膜表面带正电荷）→纯化水箱→纯水泵→微孔过滤器→用水点
3、采用EDI方式，其流程如下：
原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器→精密过滤器→一级反渗透机→中间水箱→中间水泵→EDI系统→微孔过滤器→用水点